应用范围及机械种类

1. 半导体制程设备、医疗仪器设备

2. 镭射加工机、激光加工机、UV印刷机械

3. 其他以水冷却之产业机械设备

特点

1. 有效控制加工液温度、水回路循环系统全部使用不锈材质确保水质干净度

2. 水回路循环系统可配置过滤装置、水回路循环系统可配置水质监测装置

3. 温度控制精度可依要求设计达到±1℃

规格表

规格表图

型号索引